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検索キーワード:(件名: #リソグラフィー)
該当件数:5件
EUV光源の開発と応用 / 豊田浩一, 岡崎信次監修
東京 : シーエムシー出版 , 2007.2
図書
レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
東京 : 共立出版 , 2005.2. - (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10)
よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 / 佐藤淳一著
東京 : 秀和システム , 2011.10. - (How-nual図解入門 ; visual guide book)
マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
東京 : 丸善 , 1986.10. - (Frontier technology series ; [002])
図解フォトファブリケーション : 精密・微細加工入門 / 橋本貴夫著
東京 : 総合電子出版社 , 1986.7. - (マイクロ加工シリーズ)