チョウ LSI レジスト ノ ブンシ セッケイ
超LSIレジストの分子設計 / 津田穣著
(表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 ; 11)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 共立出版 |
| 出版年 | 1990.4 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | v, 117p ; 19cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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549.8||T17 | 9900029334 |
|
4320085116 |
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