ハンドウタイ カコウ ソウチ ノ カイハツシ = Development of semiconductor fabrication equipment : ハンドウタイ ノ ビサイカ ト セイゾウ ノ システムカ エノ チョウセン
半導体加工装置の開発史 = Development of semiconductor fabrication equipment : 半導体の微細化と製造のシステム化への挑戦 / 通研半導体技術史 (装置編) 編集委員会編著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | [東京] : 日本電信電話先端集積デバイス研究所 , 2016.3 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 303p ; 30cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
|
549.8||H29 | 9300215611 |
|
9784908520037 |
|
書誌詳細を非表示
| 別書名 | その他のタイトル:Development of semiconductor fabrication equipment |
|---|---|
| 一般注記 | 監修: 向井久和 発行所: サイバー出版センター |
| 著者標目 | 向井, 久和 <ムカイ, ヒサカズ> 通研半導体技術史 (装置編) 編集委員会 <ツウケン ハンドウタイ ギジュツシ ソウチヘン ヘンシュウ イインカイ> |
| 分 類 | NDLC:ND371 NDC9:549.8 |
| 件 名 | NDLSH:半導体製造装置 |
| 書誌ID | BB00084054 |
| ISBN | 9784908520037 |
| NCID | BB22140718 |
