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ハクマク ノ キカイテキ ブッセイ ト フリョウ タイサク コウヒンシツカ
薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

データ種別 図書
出版者 東京 : サイエンス&テクノロジー
出版年 2008.7
本文言語 日本語
大きさ 328p, 図版[2]p : 挿図 ; 27cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||H19 9090301722


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一般注記 執筆: 市村博司 [ほか]
参考文献: 各章節末
著者標目  市村, 博司(1941-) <イチムラ, ヒロシ>
分 類 NDC9:549.8
NDLC:ND371
件 名 NDLSH:薄膜
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書誌ID BB00048238
ISBN 9784903413426
NCID BA8902114X