Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg
(Materials Research Society symposium proceedings ; v. 17)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : North-Holland |
| 出版年 | c1983 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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549.8||L9||(B) | 9852410697 |
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| 積層4層 |
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549.8||L9 | 9852298635 |
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| 一般注記 | "Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso Includes bibliographical references and indexes |
|---|---|
| 著者標目 | Osgood, R. M. Brueck, S. R. J. Schlossberg, H. R. United States. Air Force. Office of Scientific Research |
| 分 類 | LCC:TA1673 DC19:621.3815/2 |
| 件 名 | LCSH:Lasers -- Industrial applications -- Congresses
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| 書誌ID | TY20016593 |
| NCID | BA03265606 |
