Plasma chemistry and plasma processing
| データ種別 | 雑誌 |
|---|---|
| 出版情報 | New York, N.Y. : Plenum Press , c1981- |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | v. : ill. ; 23 cm |
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| 別書名 | 略タイトル:Plasma chem. plasma process キータイトル:Plasma chemistry and plasma processing |
|---|---|
| 一般注記 | Title from cover |
| 件 名 | LCSH:Plasma chemistry -- Periodicals
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| 書誌ID | ZY00003298 |
| ISSN | 02724324 |
| NCID | AA10622159 |
