Plasma chemistry and plasma processing
データ種別 | 雑誌 |
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出版情報 | New York, N.Y. : Plenum Press , c1981- |
本文言語 | 英語 |
大きさ | v. : ill. ; 23 cm |
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別書名 | 略タイトル:Plasma chem. plasma process キータイトル:Plasma chemistry and plasma processing |
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一般注記 | Title from cover |
件 名 | LCSH:Plasma chemistry -- Periodicals
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書誌ID | ZY00003298 |
ISSN | 02724324 |
NCID | AA10622159 |
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