Plasma technology
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Amsterdam ; New York : Elsevier |
| 本文言語 | 英語 |
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| 1 | 1 Plasma etching in semiconductor fabrication / Russ A. Morgan Amsterdam ; Tokyo : Elsevier , c1985 |
| 2 | 2 High vacuum production in the microelectronics industry / Pierre Duval Amsterdam; Tokyo : Elsevier , 1988 |
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| 書誌ID | TY00009323 |
|---|---|
| NCID | BA00003975 |
