Plasma processing for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York ; Orlando : Academic Press |
| 出版年 | 1984 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) | : alk. paper | 549.3||V||8 | 9852373170 |
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0122341082 |
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| 積層4層 | : alk. paper | 549.3||V||8(B) | 9852365294 |
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0122341082 |
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| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
|---|---|
| 著者標目 | Einspruch, Norman G. Brown, Dale M. |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 |
| 件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration
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LCSH:Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | TY20016121 |
| ISBN | 0122341082 |
| NCID | BA00536241 |
