Handbook of ion implantation technology / edited by J.F. Ziegler
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Amsterdam ; New York : North-Holland |
出版年 | 1992 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | vii, 700 p. : ill. ; 25 cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
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研究室 |
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428.4||H29 | 9950000450 |
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別書名 | 異なりアクセスタイトル:Ion implantation technology |
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一般注記 | Includes bibliographical references and index |
著者標目 | Ziegler, J. F. |
分 類 | LCC:QC702.7.I55 DC20:530.4/16 |
件 名 | LCSH:Ion bombardment |
書誌ID | TY00030952 |
NCID | BA18974475 |