Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators / Ian W. Boyd
(Springer series in materials science ; v. 3)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Berlin ; New York : Springer-Verlag |
| 出版年 | c1987 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | viii, 320 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) | : U.S. | 501.4||S25||3 | 9900063655 |
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0387179518 |
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| 一般注記 | Bibliography: p. 287-313 Includes index |
|---|---|
| 著者標目 | *Boyd, Ian W. |
| 分 類 | LCC:TA1677 DC19:621.36/6 |
| 件 名 | LCSH:Lasers -- Industrial applications 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | TY00007900 |
| ISBN | 0387179518 |
| NCID | BA01434688 |
