Laser microfabrication : thin film processes and lithography / edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Boston ; Tokyo : Academic Press |
| 出版年 | c1989 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xii, 587 p. ; 24 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
|
549||L7 | 9890074097 |
|
|
|
書誌詳細を非表示
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
|---|---|
| 著者標目 | Ehrlich, Daniel J. Tsao, Jeffrey Y. |
| 分 類 | LCC:TA1677 DC19:621.36/6 |
| 件 名 | LCSH:Lasers -- Industrial applications
全ての件名で検索
LCSH:Thin film devices -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Microlithography |
| 書誌ID | TY00005558 |
| ISBN | 0122334302 |
| NCID | BA07027712 |
