VLSI metallization / edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 15)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Orlando ; Tokyo : Academic Press |
| 出版年 | 1987 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | x, 480 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
|
549.3||V||15 | 9870046967 |
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0122341155 |
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| 一般注記 | Includes index |
|---|---|
| 著者標目 | Einspruch, Norman G. Cohen, Simon S. Gildenblat, Gennady Sh. |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 s DC19:621.381/73 |
| 件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction
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LCSH:Metallic films |
| 書誌ID | TY00004476 |
| ISBN | 0122341155 |
| NCID | BA01170156 |
