Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA / editors, Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko
(Materials Research Society symposium proceedings ; v. 101)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
| 出版年 | c1988 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xv, 509 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 研究室 |
|
549.3||L7 | 9880069911 |
|
0931837693 |
|
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| 一般注記 | Includes bibliographies and indexes |
|---|---|
| 著者標目 | Ehrlich, Daniel J. Higashi, Gregg S. Oprysko, Modest Michael, 1957- Materials Research Society |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/7 |
| 件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses
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LCSH:Lasers -- Industrial applications -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Lasers in chemistry -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | TY00003005 |
| ISBN | 0931837693 |
| NCID | BA05021227 |
