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スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著

データ種別 図書
出版者 東京 : 東京大学出版会
出版年 1984.3
本文言語 日本語
大きさ ix, 231p ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
431.89||K||(B) 9852369312
4130610473
2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
431.89||K||(C) 9852427298
4130610473

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一般注記 各章末: 参考文献
一般的参考書: p226
著者標目  金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ>
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
NDC9:549.8
件 名 NDLSH:薄膜
書誌ID TW00056403
ISBN 4130610473
NCID BN00164488