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ハクマクカ ギジュツ
薄膜化技術 / 早川茂, 和佐清孝著

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1982.12
本文言語 日本語
大きさ viii, 222p ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||H15 9852234568
4320084411
2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||H15||(C) 9852273203
4320084411
研究室
549.8||H15||(E) 9870051020
4320084411

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一般注記 各章末: 文献
著者標目  早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
 和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
件 名 NDLSH:薄膜
書誌ID TW00043076
ISBN 4320084411
NCID BN01215121