ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 技報堂出版 |
| 出版年 | 1985.10 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 2,2,3,145p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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534.92||S||1m(B) | 9890057894 |
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4765503585 |
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| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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534.92||S||1m(C) | 9910051606 |
|
4765503585 |
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