ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 東京電機大学出版局 |
| 出版年 | 1989.3 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | vi, 240p ; 21cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
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| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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549.3||N6 | 9890058315 |
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| 著者標目 | 中野, 朝安(1923-) <ナカノ, トモヤス> |
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| 分 類 | NDC8:549.7 NDLC:ND386 |
| 件 名 | BSH:集積回路 |
| 書誌ID | TW00008032 |
| ISBN | 4501313307 |
| NCID | BN03301767 |
