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ズカイ フォト ファブリケーション : セイミツ ・ ビサイ カコウ ニュウモン
図解フォトファブリケーション : 精密・微細加工入門 / 橋本貴夫著
(マイクロ加工シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 総合電子出版社
出版年 1986.7
本文言語 日本語
大きさ 272p ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.3||H5 9890058337


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一般注記 参考図書: p[251]-252
著者標目  橋本, 貴夫 <ハシモト, ヨシオ>
分 類 NDC8:549.7
NDLC:ND386
NDC8:749.1
NDC7:749.13
件 名 BSH:フォートエッチング
NDLSH:リソグラフィー
NDLSH:印刷回路
書誌ID TW00008030
NCID BN02358011