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チョウ LSI ザイリョウ プロセス ノ キソ
超LSI材料・プロセスの基礎 / 岸野正剛著

データ種別 図書
出版者 東京 : オーム社
出版年 1987.12
本文言語 日本語
大きさ 226p ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.3||K15 9880054148


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一般注記 監修:伊藤良一
著者標目  岸野, 正剛 <キシノ, セイゴウ>
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
書誌ID TW00005700
NCID BN01884879