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ビサイ カコウ ト レジスト
微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
(高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3)

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1987.11
本文言語 日本語
大きさ iv, 99p ; 19cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
501.48||K||3 9051005936
4320042271
2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
501.48||K||3(B) 9880050155
4320042271
積層4層
501.48||K||3(C) 9880050166
4320042271

書誌詳細を非表示

著者標目  野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ>
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NDLSH:電子光学
書誌ID TW00006053
ISBN 4320042271
NCID BN01734322