シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 培風館 |
| 出版年 | 1994.5 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xii,361p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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549.8||A12 | 9199706278 |
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