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VLSI ノ ハクマク ギジュツ
VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
(電子材料シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
出版年 1986.9
本文言語 日本語
大きさ xii, 250p ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||I7 9199706724


2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||I7 9870040163


2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||I7||(B) 9880057940


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一般注記 各章末:文献
著者標目  伊藤, 隆司 <イトウ, タカシ>
 石川, 元 <イシカワ, ハジメ>
 中村, 宏昭 <ナカムラ, ヒロアキ>
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386
件 名 BSH:集積回路
BSH:薄膜
NDLSH:集積回路
NDLSH:薄膜
書誌ID TW00005866
NCID BN00435789