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Glow discharge processes : sputtering and plasma etching / Brian Chapman
(A Wiley-Interscience publication)

データ種別 図書
出版者 New York : Wiley
出版年 1980
本文言語 英語
大きさ xv, 406 p. : ill. ; 24 cm

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積層4層 est. 427.53||C6||(C) 9910048010


2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) EST. 427.53||C6||(B) 9852158657


積層4層 EST. 427.53||C6 9852131063


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一般注記 Includes Bibliography and index
著者標目  Chapman, Brian N.
分 類 NDC8:427.5
LCC:QC702.7.P6
DC:537.5/2
件 名 LCSH:Sputtering (Physics)
LCSH:Glow discharges
LCSH:Plasma etching
書誌ID TY00010272
NCID BA00536398