マイクロ リソグラフィー : IC LSI ワ コウシテ ツクラレル
マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
(Frontier technology series ; [002])
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 丸善 |
| 出版年 | 1986.10 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | viii, 116p ; 19cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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749.13||N95 | 9970023767 |
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4621031155 |
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