ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ : リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル : ビサイカ ノ カギ
よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 / 佐藤淳一著
(How-nual図解入門 ; visual guide book)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 秀和システム |
| 出版年 | 2011.10 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 271p ; 21cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1F学生選書 |
|
549.7||Sa85 | 9130103022 |
|
9784798030630 |
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書誌詳細を非表示
| 一般注記 | 文献:p271 |
|---|---|
| 著者標目 | 佐藤, 淳一(1954-) <サトウ, ジュンイチ> |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDC9:549.7 |
| 件 名 | BSH:リソグラフィー BSH:半導体 |
| 書誌ID | BB00061876 |
| ISBN | 9784798030630 |
| NCID | BB07554941 |
