ジセダイ ULSI プロセス ギジュツ
次世代ULSIプロセス技術 / 廣瀬全孝 [ほか] 編集委員
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : リアライズ社 |
| 出版年 | 2000.2 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 23, 825, 17p : 図版 ; 31cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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549.7||U62 | 9090205510 |
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| 別書名 | 標題紙タイトル:Advanced ULSI process technology |
|---|---|
| 一般注記 | 執筆: 角南英夫[ほか] 参考文献: 節末 |
| 著者標目 | 広瀬, 全孝(1939-) <ヒロセ, マサタカ> |
| 分 類 | NDC9:549.7 NDLC:ND2 NDLC:ND386 |
| 件 名 | NDLSH:集積回路 |
| 書誌ID | BB00047833 |
| ISBN | 4898080200 |
| NCID | BA45542134 |
