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スパッタ ギジュツ
スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1988.6
本文言語 日本語
大きさ v, 227p ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
431.89||W 9880057404


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一般注記 文献: 各章末
著者標目  和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
 早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
分 類 NDC8:431.86
NDC8:549
NDC7:431.89
件 名 BSH:薄膜
NDLSH:薄膜
書誌ID TW00005841
NCID BN02297664