ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳[ほか]執筆
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 産業図書 |
| 出版年 | 1989.2 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | viii,330p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 研究室 |
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549.8||H29 | 9200129146 |
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478285627X |
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| 著者標目 | 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ> 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ> 奥村, 次徳 <オクムラ, ツグノリ> |
|---|---|
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 件 名 | BSH:半導体 NDLSH:半導体 |
| 書誌ID | BB00008619 |
| ISBN | 478285627X |
| NCID | BN03233656 |
