プラズマ プロセシング ノ キソ
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 電気書院 |
出版年 | 1985.11 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | 13, 391p ; 22cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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427.53||C6||1o | 9880043167 |
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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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427.53||C6||1o(B) | 9880088776 |
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