ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
(Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 ; . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 丸善 |
| 出版年 | 1991.3 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xi, 262p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
|
549.8||U2 | 9910051628 |
|
4621035835 |
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| 一般注記 | 各章末: 文献 |
|---|---|
| 著者標目 | 古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ> 石原, 健 <イシハラ, タケシ> 堂山, 昌男(1927-) <ドウヤマ, マサオ> |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDC7:549.8 |
| 件 名 | BSH:集積回路 NDLSH:集積回路 |
| 書誌ID | TW00015547 |
| ISBN | 4621035835 |
| NCID | BN06180206 |
