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シュウセキ ナノデバイス
集積ナノデバイス / 平本俊郎編著 ; 内田建, 杉井信之, 竹内潔著
(半導体デバイスシリーズ / 權田俊一, 谷口研二編集 ; 1)

データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
出版年 2009.11
本文言語 日本語
大きさ xvii, 227p : 挿図 ; 21cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||Sh99 9140100166
9784621082089

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一般注記 文献: 章末
著者標目  平本, 俊郎(1960-) <ヒラモト, トシロウ>
 内田, 建 <ウチダ, ケン>
 杉井, 信之 <スギイ, ノブユキ>
 竹内, 潔(1961-) <タケウチ, キヨシ>
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
件 名 BSH:半導体
BSH:集積回路
BSH:ナノテクノロジー
書誌ID BB00064684
ISBN 9784621082089
NCID BB00432152