Introduction to microfabrication / Sami Franssila
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 2nd ed |
| 出版者 | Chichester, West Sussex, England : Wiley |
| 出版年 | 2010 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiv, 518 p. : ill. ; 26 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1Fシラバス掲載図書 | : cloth | 549.7||F44 | 9300392228 |
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9780470749838 | シラバス2023年度 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Franssila, Sami |
| 分 類 | LCC:TK7875 DC22:621.3 DC22:621.381 NDLC:ND351 |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems LCSH:Electronic apparatus and appliances LCSH:Microfabrication LCSH:Integrated circuits LCSH:Semiconductor processing LCSH:Nanotechnology |
| 書誌ID | BB00096203 |
| ISBN | 9780470749838 |
| NCID | BB05513331 |
