From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications / Marc J. Madou
(Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 3)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 3rd ed |
| 出版者 | Boca Raton : CRC Press |
| 出版年 | c2012 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiii, 636 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1Fシラバス掲載図書 | : hardback | 549||Ma25||3(B) | 9300390842 |
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9781420055160 | シラバス2024年度 | ||
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) | : hardback | 549||Ma25||3 | 9300167590 |
|
9781420055160 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index "This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v] |
|---|---|
| 著者標目 | *Madou, Marc J. |
| 分 類 | LCC:TP248.25.B54 DC22:621.381 |
| 件 名 | LCSH:BioMEMS LCSH:Nanoelectromechanical systems LCSH:Nanotechnology LCSH:Biotechnology |
| 書誌ID | BB00081139 |
| ISBN | 9781420055160 |
| NCID | BB06583387 |
