Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology / Marc J. Madou
(Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 1)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 3rd ed |
| 出版者 | Boca Raton : CRC Press |
| 出版年 | c2012 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiii, 641 p. : ill. (some col.), ports. (some col.) ; 29 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1Fシラバス掲載図書 | : hardback | 549||Ma25||1 | 9300167577 |
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9781420055115 | シラバス2023年度 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Madou, Marc J. |
| 分 類 | LCC:TK7875 DC22:621.381 |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems LCSH:Nanoelectromechanical systems LCSH:Microfluidics LCSH:Solid state physics |
| 書誌ID | BB00081137 |
| ISBN | 9781420055115 |
| NCID | BB06582453 |
