Microsystem design / Stephen D. Senturia
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Boston : Kluwer Academic Publishers |
| 出版年 | c2001 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xxvi, 689 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
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| 1Fシラバス掲載図書 |
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549||Se74 | 9051200157 |
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シラバス2024年度 | ||
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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549||Se74 | 9200427661 |
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| 積層4層 |
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549||Se74 | 9051200146 |
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| 積層4層 |
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549||Se74 | 9051200168 |
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| 一般注記 | Includes index Bibliography: p.[665]-676 |
|---|---|
| 著者標目 | *Senturia, Stephen D., 1940- |
| 分 類 | LCC:TK7875 DC21:621.381 |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems -- Design and construction
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LCSH:System design LCSH:Microelectronics |
| 書誌ID | BB00036430 |
| ISBN | 0792372468 |
| NCID | BA50267345 |
