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Integrated circuits : chemical and physical processing : developed from the winter symposium / sponsored by the Division of Industrial and Engineering Chemistry of the American Chemical Society, University of California--Davis, March 26-27, 1984 ; Pieter Stroeve, editor
(ACS symposium series ; 290)

データ種別 図書
出版情報 Washington, D.C. : American Chemical Society , 1985
大きさ ix, 348 p. : ill. ; 24 cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.3||I8 9852450220