High vacuum production in the microelectronics industry / Pierre Duval
(Plasma technology ; 2)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Amsterdam; Tokyo : Elsevier |
| 出版年 | 1988 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiii, 222 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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534.93||D2 | 9900063666 |
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044442878X |
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| 一般注記 | Includes index |
|---|---|
| 著者標目 | *Duval, Pierre |
| 分 類 | DC19:621.5/5 |
| 件 名 | PRECIS:Microelectronics industries. Applications of vacuum technology |
| 書誌ID | TY00007899 |
| ISBN | 044442878X |
| NCID | BA03949791 |
