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Photoreactive polymers : the science and technology of resists / Arnost Reiser

データ種別 図書
出版者 New York : Wiley
出版年 c1989
本文言語 英語
大きさ xii, 409 p. : ill. ; 24 cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
578||R3 9890091373


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一般注記 "A Wiley-Interscience publication."
Includes bibliographies and index
著者標目  *Reiser, Arnost
分 類 LCC:QD382.P45
DC19:621.36/7
件 名 LCSH:Polymers and polymerization
LCSH:Imaging systems
LCSH:Photoresists
書誌ID TY00005051
ISBN 0471855502
NCID BA07613103