Microdevices : physics and fabrication technologies
データ種別 | 図書 |
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出版者 | New York : Plenum Press |
本文言語 | 英語 |
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1 | Semiconductor lithography : principles, practices, and materials / Wayne M. Moreau New York : Plenum Press , c1988 |
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書誌ID | TY00004702 |
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NCID | BA01301028 |