Microdevices : physics and fabrication technologies
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Plenum Press |
| 本文言語 | 英語 |
子書誌情報を非表示
| 1 | Semiconductor lithography : principles, practices, and materials / Wayne M. Moreau New York : Plenum Press , c1988 |
書誌詳細を非表示
| 書誌ID | TY00004702 |
|---|---|
| NCID | BA01301028 |
