Semiconductor lithography : principles, practices, and materials / Wayne M. Moreau
(Microdevices : physics and fabrication technologies)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Plenum Press |
| 出版年 | c1988 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xx, 931 p. ; 26 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
|
549.8||M13 | 9880027555 |
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0306421852 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Moreau, Wayne M. |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC19:621.3815/2 |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors LCSH:Microlithography LCSH:Photoresists |
| 書誌ID | TY00003498 |
| ISBN | 0306421852 |
| NCID | BA03566023 |
