Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA / editors, Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko
(Materials Research Society symposium proceedings ; v. 101)
データ種別 | 図書 |
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出版情報 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1988 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | xv, 509 p. : ill. ; 24 cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
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研究室 |
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549.3||L7 | 9880069911 |
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0931837693 |
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一般注記 | Includes bibliographies and indexes |
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著者標目 | Ehrlich, Daniel J. Higashi, Gregg S. Oprysko, Modest Michael, 1957- Materials Research Society |
分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/7 |
件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses
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書誌ID | TY00003005 |
ISBN | 0931837693 |
NCID | BA05021227 |