ビサイ カコウ
微細加工 / 半導体研究振興会編
(半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 14 . 超LSI技術 ; 1)
データ種別 | 図書 |
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出版情報 | 東京 : 工業調査会 , 1977.12 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | 9, 376p ; 27cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
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549.8||H6||14 | 9852022857 |
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