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ハンドウタイ エピタキシー ギジュツ
半導体エピタキシー技術 / 河東田隆著
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1982.10
本文言語 日本語
大きさ 193p ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
549.8||K7||(B) 9860070671


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一般注記 各章末:参考文献
著者標目  河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ>
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
件 名 NDLSH:半導体
書誌ID TW00000251
NCID BN00813820