Micromachining and microfabrication
(IEE materials & devices series ; 12B . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 2)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press |
| 出版者 | London : Institution of Electrical Engineers |
| 出版年 | c1997 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | vii, 692 p. : ill. ; 26 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
|
530||Mi13 | 9300493868 |
|
|
|
書誌詳細を非表示
| 一般注記 | "SPIE press monograph PM40" Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Rai-Choudhury, P. |
| 分 類 | LCC:TK7836 DC21:670 |
| 件 名 | LCSH:Microlithography LCSH:Micromachining LCSH:Microfabrication |
| 書誌ID | BB00105246 |
| ISBN | 0819423793 |
| NCID | BA32829782 |
