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IEE materials & devices series

データ種別 図書
出版者 London, U.K. : P. Peregrinus on behalf of the Institution of Electrical Engineers

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1 12B . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 2 Micromachining and microfabrication : us,: uk. - Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press. - London : Institution of Electrical Engineers , c1997

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別書名 異なりアクセスタイトル:IEE materials and devices series
書誌ID BB00105245
NCID BA07412236