Optical inspection of microsystems / edited by Wolfgang Osten
(Optical science and engineering ; 109)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis |
| 出版年 | c2007 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | 503 p., [8] p. of plates : ill. (some col.), port. ; 26 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
|
425.9||O69 | 9300425216 |
|
9780849336829 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Osten, Wolfgang |
| 分 類 | LCC:TS156.2 DC22:670.42/5 |
| 件 名 | LCSH:Quality control -- Optical methods
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LCSH:Optical detectors -- Industrial applications 全ての件名で検索 LCSH:Microelectronics |
| 書誌ID | BB00099674 |
| ISBN | 9780849336829 |
| NCID | BA8002849X |
