Electrochemical micromachining for nanofabrication, MEMS and nanotechnology / Bijoy Bhattacharyya
(Micro & nano technologies)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Oxford, UK ; Waltham, MA : William Andrew |
| 出版年 | c2015 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xxv, 270 p. : ill. ; 25 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術) |
|
530||B39 | 9300251080 |
|
9780323327374 |
|
書誌詳細を非表示
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Bhattacharyya, Bijoy |
| 分 類 | LCC:TJ1191.5 DC23:620.5 |
| 件 名 | LCSH:Micromachining LCSH:Nanotechnology LCSH:Microelectromechanical systems |
| 書誌ID | BB00086188 |
| ISBN | 9780323327374 |
