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コレカラ ノ MEMS : LSI トノ ユウゴウ
これからのMEMS : LSIとの融合 / 江刺正喜, 小野崇人共著

データ種別 図書
出版者 東京 : 森北出版
出版年 2016.6
本文言語 日本語
大きさ v, 151p : 挿図 ; 22cm

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2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
530||E71 9300150750
9784627775510
2F図書 (自然科学・技術・産業・芸術)
530||E71 9300150761
9784627775510

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別書名 異なりアクセスタイトル:これからのMEMS : micro electro mechanical systems : LSIとの融合
一般注記 タイトルは奥付による
参考文献: p136-147
著者標目  *江刺, 正喜(1949-) <エサシ, マサヨシ>
 小野, 崇人 <オノ, タカヒト(1967-)>
分 類 NDC8:530
NDC9:530
件 名 BSH:マイクロマシン
書誌ID BB00079693
ISBN 9784627775510
NCID BB21515702