ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ : リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル : ビサイカ ノ カギ
よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 / 佐藤淳一著
(How-nual図解入門 ; visual guide book)
データ種別 | 図書 |
---|---|
出版情報 | 東京 : 秀和システム , 2011.10 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | 271p ; 21cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 指定図書グループ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
1F学生選書 |
|
549.7||Sa85 | 9130103022 |
|
9784798030630 |
|